在確定并減小外部誤差后，如果可能的話，可將測試系統的內部和外部偏移從將來的測量結果中減去。首先，如上所述，在輸入戴有金屬帽的情況下對SMU進行自動校準。然后，確定每個SMU至探針的偏移。利用軟件中的公式計算器工具，可將該平均偏移從隨后的電流測量結果中減去。為了進行極低電流的測量，應定期重新測量平均偏移電流(至少每月一次)。

　　結論

　　當配備可選的吉時利4200-PA型遠程前置放大器時，4200-SCS型半導體特性分析系統可準確測量pA級或更小的電流。應通過測量整個測量系統的偏移電流來確定系統的限制，必要時進行調節。可采用一些技術減小測量誤差源，例如屏蔽、保護、儀器的正確接地，以及在KITE軟件中選擇合適的設置，包括留有足夠的建立時間。吉時利的低電平測量手冊提供了關于優化低電平測量技術的更多信息。