吉時利儀器公司不斷增強半導體行業性價比最高的高速生產參數測試方案——S530參數測試系統的功能。由于有吉時利測試環境軟件(KTE V5.4）的支持，S530目前配置為48引腳全Kelvin開關以及脈沖發生、頻率測量和低電壓測量的新型集成選件。這些新增強的功能幫助S530系統實現了更寬范圍的生產參數測試應用和高速、經濟有效的測試方案。

      S530低電流系統採用高性能開關矩陣來傳輸儀器與測試探針之間的信號，提供sub-picoamp等級量測解析度和低電流防漏機制從頭到尾的全程監視。該系統的最新增強功能現在可支援48 pin 完整的Kelvin（四線式）開關配置，比以往可用的完整Kelvin針數增加了數倍。倍增系統最大探針數量而實現完整Kelvin開關機制與佈線，同時能保持信號的完整性，S530以強化的系統建構靈活性來結合精確高速量測功能，充分保障未來的完整測試。

      全新的高速、高解析度示波器選項支援環形振盪器進行寬廣頻率量測範圍的測試。這個新的系統選項具備高達每秒400千兆樣本的取樣率，能提供大約10kHz至20MHz的量測。隨著愈來愈多的半導體晶圓廠已將環形振盪器納入整體製程監控測試架構裡，參數測試系統的頻率量測能力亦變得越來越重要。

      隨著愈來愈多積體電路將如快閃記憶的嵌入式記憶體納入設計中，半導體晶圓廠也漸漸將記憶體結構和其量測增加于製程監控行程中。測試這些元件需要輸出使用者所定義的電壓脈衝來進行記憶單元的編寫和消除動作，再進行元件精確的直流量測。為了滿足這一需求，S530採用目前承載電容-電壓（C-V）儀器卡相同的次系統機柜，來配置兩個、四個或六個通道的脈衝產生器容量，如此它就可產生多樣的元件測試波形，并擴展系統的靈活性。

      將范德堡（Van der Pauw）測試和金屬結構測試作為製程監控一部分，是需要結合低電壓量測、高量測解析度，和優異的重復性。為因應這些應用，S530系統現在特別針對低電壓量測推出7位半低雜訊數位多功能電錶之選項。它在最低檔位（100mV）提供10nV解析度和次低檔位（1V）的100nV解析度，另也提供7ppm直流電壓重復性能。

      目前有兩種S530系統可供選擇。 S530低電流系統是開發進行如次臨界漏電流、閘極漏電流等特性量測之用。S530高電壓系統將輸出高達1000V及20mA（最大20W）能量的電源量測單元（SMU）整合至任何的系統針腳。這版本是最適合氮化鎵、碳化硅，和硅LDMOS等功率元件困難的崩潰電壓和漏電流測試需求。雖然新的48 pin Kelvin開關是低電流系統的獨特功能，但所有新的量測選項都可搭配于這兩個系統。