關(guān)于吉時(shí)利4200-SCS型優(yōu)化小電流測(cè)量的解決方案，上次已經(jīng)跟大家說(shuō)一些有4200—SCS的基本知識(shí)以及測(cè)量系統(tǒng)中的偏移電流，下面我們繼續(xù)往下看。

       運(yùn)行7.1版本之前的KTEI軟件的系統(tǒng)也很容易測(cè)量偏移電流。請(qǐng)按照以下步驟創(chuàng)建測(cè)試，對(duì)SMU1進(jìn)行測(cè)量：

      1.在已創(chuàng)建的項(xiàng)目中，打開(kāi)一個(gè)用于一般2端器件的新DevICePlan(器件規(guī)劃)。

      創(chuàng)建一個(gè)名稱(chēng)為SMU1Offset的新ITM。為端子A選擇SMU1，端子B選擇GNDU。

圖2.SMU1的偏移電流測(cè)量

     1.在Definition標(biāo)簽頁(yè)中進(jìn)行如下設(shè)置：

     SMU源測(cè)量配置：電壓偏置0V，10pA固定電流量程。

     Timing菜單：靜音速度，采樣模式，0s間隔，20個(gè)樣本，1s保持時(shí)間，選中使能時(shí)標(biāo)。

     公式計(jì)算器：創(chuàng)建一個(gè)公式，利用標(biāo)準(zhǔn)差測(cè)量噪聲，NOISE=STDDEV(A1)。

     再創(chuàng)建一個(gè)公式測(cè)量平均偏移電流：AVGCURRENT=AVG(A1)。

     2.在Graph標(biāo)簽頁(yè)中進(jìn)行如下設(shè)置(在圖形上右擊)：

     定義圖形：X軸：時(shí)間

     Y1軸：電流(A1)

      數(shù)據(jù)變量：選擇在圖形上顯示NOISE。選擇在圖形上顯示AVGCURRENT。

      完成配置后，保存測(cè)試并運(yùn)行。結(jié)果應(yīng)類(lèi)似于圖2所示的圖形。對(duì)系統(tǒng)中的全部SMU重復(fù)該測(cè)試。

      在KITE中執(zhí)行自動(dòng)校準(zhǔn)程序，可優(yōu)化輸入偏移電流技術(shù)指標(biāo)。如需執(zhí)行SMU自動(dòng)校準(zhǔn)，在KITE的工具菜單中點(diǎn)擊“SMUAutoCalibration”(SMU自動(dòng)校準(zhǔn))。進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)之前，使系統(tǒng)在上電后預(yù)熱至少60分鐘。除金屬帽之外，SMU的ForceHI和SenseHI端子上不應(yīng)連接任何東西。自動(dòng)校準(zhǔn)程序?qū)ο到y(tǒng)中全部SMU的全部源和測(cè)量功能調(diào)節(jié)電流和電壓偏移。請(qǐng)勿將其與全系統(tǒng)校準(zhǔn)混淆，后者應(yīng)每年在吉時(shí)利工廠進(jìn)行一次。

      完成SMU自動(dòng)校準(zhǔn)后，即可重復(fù)進(jìn)行偏移電流測(cè)量。

      III分析系統(tǒng)優(yōu)化小電流測(cè)量——外部偏移

      確定了安培計(jì)的偏移電流后，將系統(tǒng)的其余部分逐步添加至測(cè)試電路，通過(guò)重復(fù)電流(0V)和時(shí)間圖，驗(yàn)證系統(tǒng)其余部分的偏移(利用圖3中所示的“AppendRun”按鈕)。最后，在“up”位置對(duì)探針末端或未連接器件的測(cè)試夾具進(jìn)行測(cè)量。該過(guò)程將有助于確定任何故障點(diǎn)，例如短路的電纜或測(cè)量電路中的不穩(wěn)定性。然而，要意識(shí)到，連接和斷開(kāi)電纜都會(huì)在電路中產(chǎn)生電流。為了進(jìn)行超低電流測(cè)量，可能有必要在改變測(cè)試電路的連接后等待幾分鐘至幾個(gè)小時(shí)，使雜散電流衰減。圖4中的圖形顯示的是以下條件下的偏移：1)SMU的ForceHI端子上戴有金屬帽;2)前置放大器上僅連接一根三軸電纜;3)通過(guò)吉時(shí)利7174A型小電流開(kāi)關(guān)矩陣至探針臺(tái)，“up”位置有一個(gè)探針。

圖4.整個(gè)測(cè)試系統(tǒng)的偏移電流測(cè)量

      在生成電流-時(shí)間圖形時(shí)施加一個(gè)測(cè)試電壓，重復(fù)該項(xiàng)測(cè)試，確定測(cè)量電路中的漏泄電流。在DUT的實(shí)際測(cè)量中，使用的是測(cè)試電壓，而非零偏壓。現(xiàn)在，將測(cè)量并繪制測(cè)試夾具和電纜中的任何漏流。如果漏流太高，可對(duì)測(cè)量電路進(jìn)行調(diào)節(jié)，減小漏流。關(guān)于減小漏流的方法信息，請(qǐng)參見(jiàn)本文“漏流和保護(hù)”部分。