測量電流的兩種基本方法是分流電流表法(幾乎所有DMM都采用，此方法的電流靈敏度有限)和反

饋電流表法(靜電計、皮安表和SMU等儀器使用)。雖然理想電流表電阻為零，但所有實際電流表

都存在內阻。為了最小化負載誤差，電流表的內部分流電阻應比DUT電阻小很多。

在衡量一臺儀器是否適于低電流應用時，仔細查看準確度指標非常重要。然而，低電流高阻測量

儀器可能采用不同格式來表示準確度，這會使比較變得復雜。增益和失調誤差可以結合為百分數

表示的指標以及一系列最低有效位計數表示的指標。準確度還能用百萬分率表示。

高阻測量法

雖然可通過源電流/測量電壓或者源電壓/測量電流的方法測量電阻值，但高阻測量建議采用源電

壓/測量電流的方法。可以使用靜電計(或皮安表)和電壓源進行高阻測量。某些帶有內建電壓源

的靜電計和皮安表能夠自動計算電阻值。

SMU還適于測量高電阻。在SMU內部，電流表和電壓源采用串聯連接。未知電阻連接在SMU的HI施

加端子和LO施加端子之間。用源電壓/測量電流法進行高阻測量時，用戶必須考慮電壓源和電流表的準確度，以及器件連接的完整性。從連接器經過電纜進入測試夾具的整個信號路徑都必須經過優化才能保持信號劣化最

小。

電纜和連接器

用于低電流和高電阻測量的兩種常見連接器類型是雙接頭的BNC連接器和三接頭的三同軸連接器

。BNC連接器用于屏蔽層包裹單芯導體構成的同軸電纜。在進行高靈敏度測量時，屏蔽電纜具有

最小化噪聲的重要作用。三同軸電纜配合SMU使用，因為第三根芯能實現防護測量。

測量高電阻時，應當選擇芯與芯之間絕緣電阻高的電纜。質量好的三同軸電纜采用聚乙烯絕緣材

料，而且一根芯專用于屏蔽約為1E12 Ω/ft的絕緣電阻。一定要核對廠家的指標并確保電纜和連

接器都能用于高阻抗測量。同軸電纜和三同軸電纜都有適于低電平測量的低噪聲版本。低噪聲電

纜的內部石墨涂層能讓失調最小。即便普通同軸電纜的漏電流和噪聲電流都高于低噪聲電纜，但

在某些情況下普通同軸電纜(例如RG-58)就夠用了。

電纜電阻值、電容值和漏電流隨電纜長度增加而變化，所以盡可能讓所有連接電纜長度最短極為

重要。用屏蔽電纜和測試夾具可以防靜電。測試光敏器件時，一定要使用遮光的測試夾具。

為避免測量誤差，將靜電計、SMU或皮安表正確連至DUT非常重要。一定要將儀表的高阻端子連至

被測電路的最高阻抗點。