優化低電流和高電阻測量的討論都必須包括定義術語的確切含意、所需測量儀器以及將儀器連至被測器件(DUT)的適當方法。

為方便討論，我們將低電流定義為小于10nA的電流。標準低電流測量應用包括估計FET柵極漏電流、

光電二極管電流、電容器漏電流、離子束電流、納米電子器件性能和光電倍增管輸出。對于這些測量，選擇最適合的測量儀器和測量方法對避免測量誤差至關重要。

我們可以將高阻測量定義為超過1GΩ電阻值的測量。這些應用包括測量絕緣體電阻率；測試絕緣電阻；測試多芯電纜、連接器和印制電路板等裝置；測量高達MΩ級電阻值的電阻器。

確保最佳低電流和高電阻測量的關鍵在于：

* 選擇具有應用所需電流靈敏度的儀器

* 選用合適的電纜和連接使失調最小

* 核查系統失調以確定噪底

* 確認潛在誤差源使產生的有害電流最小

低電流測量儀器

如果應用要求測量極低的電流，那么正確選擇測量儀器極為重要。大多數低電流直流測量采用靜電計、皮安表或源-測量單元(SMU)。靜電計(見圖1)是一種能測量低電流、高電阻、高輸入阻抗電壓及電荷的精密直流萬用表。皮安表是一種只測量低電流而且可以測量高電阻(如有內建電壓源)的儀器。SMU可以提供電流和電壓源，還能測量電流與電壓。然而，并非所有SMU都具有低電流性能，所以要仔細檢查技術指標。

數字萬用表(DMM)一般不適于測量極低電流，因為DMM的輸入失調電流過大、電流分辨率不夠高而且輸入壓降過大。

電流測量方法

測量電流的兩種基本方法是分流電流表法(幾乎所有DMM都采用，此方法的電流靈敏度有限)和反饋電

流表法(靜電計、皮安表和SMU等儀器使用)。雖然理想電流表電阻為零，但所有實際電流表都存在內

阻。為了最小化負載誤差，電流表的內部分流電阻應比DUT電阻小很多。

高阻測量法

雖然可通過源電流/測量電壓或者源電壓/測量電流的方法測量電阻值，但高阻測量建議采用源電壓/

測量電流的方法?？梢允褂渺o電計(或皮安表)和電壓源進行高阻測量。某些帶有內建電壓源的靜電計

和皮安表能夠自動計算電阻值。

優化小電流高阻抗測量應用的精度很大程度上取決于：選擇能夠提供合適靈敏度的儀表，確保使用的所有電纜、連接器和測試夾具是專門針對高阻抗應用設計的，盡量減少測試誤差源，在整合過程的每個階段驗證測試系統性能。