為什么KEITHLEY吉時利源表可以用于四探針法?

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　　電阻率是決定半導體材料電學特性的重要參數。為了表示工藝質量和材料混合，有必要測試材料的電阻率。

　　四探針法是目前測定半導體材料電阻率的常用方法，該方法設備簡單，操作方便，測量精度高，對樣品形狀沒有嚴格要求。

　　四探針法操作規范:要求用四探針等間距接觸材料表面;在外兩個探針之間輸出電流的同時，測試中間兩個探針的電壓差;最后，通過樣品的幾何參數、輸出電流源和測量電壓值來計算電阻率。

　　為什么KEITHLEY吉時利源表可以用于四探針法?

　　許多工程師選擇吉時利公司開發的高精度源表，因為它可以簡化測試連接，獲得準確的測試結果。吉時利源表不僅可以測試輸出電流時的電壓，還可以測試輸出電壓時的電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率高達微伏級。吉時利源表支持四線開爾文模式，非常適合四探測試。這里配有吉時利2400系列源表(2450/2460)。

　　四探針測試方案能帶來什么好處?

　　閱讀方便:系統提供上位機軟件，內置電阻率計算公式，符合國家硅單晶電阻率測試標準。測試結束后，計算結果直接從計算機讀取，便于后續數據的處理和分析。

　　高精度：提供正/反電流換向試驗，可消除熱電勢誤差的影響，提高測量精度值。

　　適用性強:四探針采用碳化鎢材質，間隔1毫米，探針位置正確穩定。采用懸臂式結構，探針具有壓力行程。根據材料的不同，提供各種間隔、針尖直徑的針選項。

　　彈性好：探針臺具有粗/細兩級高度調節，細調時，高分辨率高達2微米，精確控制探針頭與被測物體之間的距離，防止針頭對被測物體造成

　　誤差較小:貨盤表面采用絕緣特氟隆層，減少漏電流引起的測試誤差。