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半導體特性測量系統PIV套件
當半導體科技發展到65nm節點及更高階,測量技術除了直流輸出-測量之外,必須更有效地測量新材料與新元件的特性,因為諸如高K電荷捕獲及SOI (solicon on insulator)元件會自我發熱。雖然研發者已認識到脈沖測試的重要性,但卻沒有商品化的解決方案可執行簡易、精確及可重復性的脈沖測量。
Model 4200-SCS PIV套件具有脈沖功能,整合了脈沖發生、脈沖測量,并結合申請專利中的軟件及簡化的待測元件導線連結,提供有效解決方案。用戶不需使用一堆設備來測量、連接復雜的線路,或使用自行發展的軟件及不準確的測量結果。
PIV套件是建構在新的雙頻道脈沖發生卡,其特點是兩個獨立的頻道,具有1Hz至50MHz的頻率范圍。可產生一個只有10納秒(nanoseconds)的脈沖,可對SOI元件及其它65nm以下的元件及工藝實現等溫脈沖測量,其脈沖邊緣對于電荷捕獲、AC應力測試、和儲存器件測試,可精確輸出與測量。
用戶可以控制數個脈沖參數,如脈沖寬度、工作周期、上升與下降時間、振幅和偏移量。該套件組合中的軟件也可以控制脈沖的設定,并驅動雙信道脈沖產生器,觸發及執行脈沖測量,搜集和顯示數據。PIV套件中還包括執行pulse IV和電荷捕獲的測試程序示例,可節省軟件研發時間及成本。
此外,雙頻道脈沖發生卡也可當作一個集成在Model 4200-SCS上的脈沖發生器。一般用途脈沖發生器適合應用于失誤分析、電荷泵、閃存測試及時鐘發生。脈沖發生卡包含的軟件具備易用的圖形操作界面。