什么是KEITHLEY半導體特征分析儀呢?半導體特征分析儀的應用有哪些?

　　什么是KEITHLEY半導體特征分析儀

　　半導體特征分析系統是一種用于物理學、化學、材料科學領域的儀器

　　KEITHLEY半導體特征分析儀功能

　　測試氧化層厚度，柵面積，串聯電阻，電壓，開啟電壓，體摻雜，徳拜長度，體電勢等等。

　　KEITHLEY半導體特征分析儀技術指標

　　1.最大電壓源輸出：200V

　　2.電壓源設定最小分辨率

　　3.最大電流均為100mA，測試精度10fA;3.C-V系統，頻率范圍：1KHz-10MHz，偏置電壓：±30V(差分模式下為±60V);

　　4.脈沖發生器頻率：50MHz-1Hz,雙通道，最小脈沖寬度為10ns@10V,50ns@40V;

　　5.電流測量精度：0.5%+1nA，I和V的采樣率為5ns/點。

　　KEITHLEY半導體特征分析儀用途

　　器件、材料和半導體工藝參數分析

　　半導體光電子器件生產特點

　　與傳統的半導體生產相比，半導體光電子器件的生產有以下特征：

　　1)規模小。由于全球對光電子器件的需求量一定，與半導體生產線相比，光電子器件規模較小，同類型的機臺數量少，一旦某臺機臺故障，將有可能造成整條生產線停產，造成很大損失，因此對設備的維護、定期保養很重要。

　　2)周期短。硅片在生產線上的平均加工周期為十幾天到幾十天，典型的加工流程需要幾百步，而光電子器件生產周期為兩天到三天，典型的加工流程幾十步，這就要求生產調度有一定的靈活性，短時間內能夠調整從而指導生產。

　　3)半自動。半導體生產多為全自動，通過一段時間的生產可以統計分析出不同設備、不同產品的良率，而光電子器件存在大量的手工作業，影響產品良率的穩定并進一步造成庫存壓力，因此MES系統軟件要能夠合理安排作業人員，并充分考慮庫存量。

　　4)多批次。半導體為大批量生產，一個訂單的數量巨大，而光電子器件多為小批量，針對客戶的特殊需求，產出特定的功率、波長的產品，這就使得設備在生產中頻繁調整參數，因此投料控制極為重要。

　　5)非標準。半導體各產品用料可依據經驗，而光電子器件涉及到非標夾具，導致lead-time各不相同，因此MES系統軟件對這種輔助資源調度要做到合理的控制和優化。