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什么是KEITHLEY半導體特征分析儀
什么是KEITHLEY半導體特征分析儀呢?半導體特征分析儀的應用有哪些?
什么是KEITHLEY半導體特征分析儀
半導體特征分析系統是一種用于物理學、化學、材料科學領域的儀器
KEITHLEY半導體特征分析儀功能
測試氧化層厚度,柵面積,串聯電阻,電壓,開啟電壓,體摻雜,徳拜長度,體電勢等等。
KEITHLEY半導體特征分析儀技術指標
1.最大電壓源輸出:200V
2.電壓源設定最小分辨率
3.最大電流均為100mA,測試精度10fA;3.C-V系統,頻率范圍:1KHz-10MHz,偏置電壓:±30V(差分模式下為±60V);
4.脈沖發生器頻率:50MHz-1Hz,雙通道,最小脈沖寬度為10ns@10V,50ns@40V;
5.電流測量精度:0.5%+1nA,I和V的采樣率為5ns/點。
KEITHLEY半導體特征分析儀用途
器件、材料和半導體工藝參數分析
半導體光電子器件生產特點
與傳統的半導體生產相比,半導體光電子器件的生產有以下特征:
1)規模小。由于全球對光電子器件的需求量一定,與半導體生產線相比,光電子器件規模較小,同類型的機臺數量少,一旦某臺機臺故障,將有可能造成整條生產線停產,造成很大損失,因此對設備的維護、定期保養很重要。
2)周期短。硅片在生產線上的平均加工周期為十幾天到幾十天,典型的加工流程需要幾百步,而光電子器件生產周期為兩天到三天,典型的加工流程幾十步,這就要求生產調度有一定的靈活性,短時間內能夠調整從而指導生產。
3)半自動。半導體生產多為全自動,通過一段時間的生產可以統計分析出不同設備、不同產品的良率,而光電子器件存在大量的手工作業,影響產品良率的穩定并進一步造成庫存壓力,因此MES系統軟件要能夠合理安排作業人員,并充分考慮庫存量。
4)多批次。半導體為大批量生產,一個訂單的數量巨大,而光電子器件多為小批量,針對客戶的特殊需求,產出特定的功率、波長的產品,這就使得設備在生產中頻繁調整參數,因此投料控制極為重要。
5)非標準。半導體各產品用料可依據經驗,而光電子器件涉及到非標夾具,導致lead-time各不相同,因此MES系統軟件對這種輔助資源調度要做到合理的控制和優化。